本文探讨了纳米机电系统（NEMS）作为一种新兴硬件安全原语在先进封装和半导体制造中的应用。随着硬件安全威胁（如篡改、伪造和供应链渗透）不断升级，现有数字安全方法面临逆向工程、侧信道攻击和环境退化等挑战。作者提出利用NEMS的机械不可预测性和制造诱导的纳米尺度变异性，构建物理不可克隆函数（PUFs）、形状记忆材料、基于共振的指纹和物理解锁架构等安全机制。这些系统能够在器件层面实现物理保证、篡改检测和身份认证，具有低功耗、抗逆向工程和侧信道攻击的优势，并且可无缝集成到标准半导体制造流程中。论文通过理论分析和案例研究展示了NEMS在国防、航空航天、关键基础设施和消费电子等领域的可扩展、可验证安全解决方案潜力。核心贡献在于提出将NEMS从传统MEMS领域拓展至硬件安全，为抵御物理攻击提供了一种鲁棒且低功耗的替代方案。